��ࡱ� > �� 8 : ���� 7 �������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� _� �R� � bjbj���� 2 ��5\��5\� �� �� �� � x x � � � � � ���� 8 G S P! l _ _ _ _ _ � � � � � � � � � � $ �" � r% 6 � 9 � � � � � � � � � _ _ H ! ? ? ? � * � _ � _ � ? � � ? ? ? _ ���� �eH�� ���� � ( ? � ! 0 P! ? �% � F �% ? ? � �% � ; \ � � ? � � � � � � � ? � � � P! � � � � ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� ���� �% � � � � � � � � � x I � : 06 g2 �e0�]z�yf[MR�l��[W,{1 2 2 ����R�b'Y��['Yeu'Yf[N�[���^ ���^���v�T i m e - o f - F l i g h t S e c o n d a r y I o n M a s s S p e c t r o m e t r y a n d I t s A p p l i c a t i o n s i n M a t e r i a l s S c i e n c e s ;N���N�B�R`�R xvzXT ���^�e���2 0 1 5 t^6 g2 �e�fg�N � NHS9 : 0 0 ���^0W�p��V�[A�Tё�]z-N�_O���[�A :S�~T�[��'Y|i3 1 9 � ���^�Q�[� T i m e - o f - f l i g h t s e c o n d a r y i o n m a s s s p e c t r o m e t r y ( T o F - SIMS) is a surface-sensitive analytical technique used to identify elements and molecules. It probes the topmost 1-3 nm of a surface by measuring the (secondary) ions generated by bombarding the surface with a pulsed (primary) ion beam. With another sputter ion beam to remove a controllable amount of substance, ToF-SIMS is also a unique technique to probe chemical information in depth with a depth resolution of~1nm. In this talk, I will discuss instrumentation of ToF-SIMS, its applications in materials scien c e s i n c l u d i n g s u r f a c e c o n t a m i n a n t i d e n t i f i c a t i o n , d e p t h - p r o f i l i n g a n d i m a g i n g o f e l e m e n t s a n d M o l e c u l e s . ;N���N�N�~� D L N " $ N V X � � � � � � " , > H � � � � � � � � � � � ��̽�̽�̽�̽�̽�̻�̽̽���������� h�@ j h�@ Uh�� h�%G CJ aJ o(Uh�� h�� CJ OJ QJ aJ h�%G h�� 5�CJ OJ QJ aJ "h�%G h�� 5�CJ OJ QJ \�aJ "h�� h�� 5�CJ OJ QJ \�aJ " D N � � � � " > Z � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � gd�`y �0dh WD� `�0gd�� �2dh WD� `�2gd�� $��dh WD� `��a$gd�� B�R`�R ��kN�N-N�V5uP[�y�b'Yf[�1 9 8 4 �, ���e,gQ{�l'Yf[�]f[ZS�X�1 9 9 2 �0�f�N�e,g��Nw�]N�b/gxvzb��1 9 9 2 - 1 9 9 5 ��S N�Sf[�1 9 9 5 - 1 9 9 7 �yr+RxvzXT0�s�Nh�b��yf[-N�_xvzXT�TirtN)Y�ef[�||QL�Ye�c0(Wё^\ �JS�[SOLub�0h�b�Sf[0��~ňUSRP[��b_b:gt�SvQh��_�eb�wQ g0N�[�vxvz�~�� ��]�Sh�mQASY�{���e0/f�SP[���R>f�_\��SޘL��e���W�N!k�yP[(�1��N�eb��vN�[ �:N�]NLu(u7b�c�Q'Y�~7 0 0 �N gsQh�b��SLub��vR�g�bJT0;N��xvz�eT/f _�Sh�b�R�g�e�l(WPg�e�yf[���W�v�^(u ���~ňUSRP[���vb���e�l�SvQ(Wё^\�T'lSirh�b��Op��v�^(u0 ;N�RUSMO�͑�^'Yf[�]zf[� b�RUSMO�͑�^'Yf[Pg�ef[b� "kΏTUSMO�^�S�R �v^���[ gsQ��s:W�c�0 0 1�82P ��. ��A!�"�#��$��%� �S�� �� s � � � � � � � � � 6 6 6 6 6 6 6 6 6 v v v v v v v v v 6 6 6 6 6 6 > 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 � 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 � 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 h H 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 p 6 2 � � � � & 6 F V f v � � � � � � 2 ( � � & 6 F V f v � � � � � � & 6 F V f v � � � � � � & 6 F V f v � � � � � � & 6 F V f v � � � � � � & 6 F V f v � � � � � � & 6 F V f v � � 8 X � V ~ � � � � � � � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ � � 0 @ OJ PJ QJ _HmH nHsH tH J `�� J ck�e $1$ a$ CJ KH _HaJ mH nHsH tH $ A ��� $ ؞���k=�W[SO B i ��� B 0 nf�h�
*ph� 8 �/��8 @5� d a t e t i m e 1 CJ aJ ph��� " �/��" @5� m o r e 1 N "N �`y 0 u� w ' $ � 9r &d G$ P� � a$ CJ aJ 2 �/��12 �`y 0 u� w C h a r CJ KH aJ <